栃木縣小山市–(BUSINESS WIRE)–(美國商業資訊)–微影光源的主要生產廠商——Gigaphoton公司(總公司:栃木縣小山市,總裁:都丸仁,www.gigaphoton.com)宣布,使用該公司「無氦化」技術的高輸出ArF浸潤式準分子雷射器(以下稱為ArF雷射器)每年在全世界實現的氦氣削減量已達到1萬公秉。 從2013年起,Gigaphoton公司按照獨創的EcoPhoton™計畫(注,持續實施符合客戶需要的降低環境負荷的活動——綠色創新活動。到目前為止,已充分運用其擁有的豐富實績與經驗,為客戶削減了各種成本。7月,該公司發表了新的綠色創新藍圖。其中,作為氦氣供應難題的解決方案,「無氦化」技術不僅應用於半導體產業,而且為整個工業界做出了重大貢獻。 本技術透過將在ArF雷射器內作為充填氣體使用的氦氣置換為氮氣的方式,將其使用量削減了99%,這是一種世界首創的技術。另外,即使將氦氣置換為氮氣,也不會犧牲光學特性,可以保持與使用氦氣時相同的高穩定性,這也是本技術的一大特徵。大型記憶體製造商也已在量產線的90%以上的雷射器上採用了本技術,而且在採用本技術以後,生產線運轉穩定