栃木县小山市–(BUSINESS WIRE)–(美国商业资讯)–光刻光源的主要生产厂商——Gigaphoton公司(总公司:栃木县小山市,总裁:都丸仁,www.gigaphoton.com)宣布,使用该公司“无氦化”技术的高输出ArF浸润式准分子激光器(以下称为ArF激光器)每年在全世界实现的氦气削减量已达到1万千升。 从2013年起,Gigaphoton公司按照独创的EcoPhoton™计划(注,持续实施符合客户需要的降低环境负荷的活动——绿色创新活动。到目前为止,已充分运用其拥有的丰富的实绩与经验,为客户削减了各种成本。7月,该公司发表了新的绿色创新路线图。其中,作为氦气供应难问题的解决方案,“无氦化”技术不仅应用于半导体行业,而且为整个工业界做出了巨大的贡献。 本技术通过将在ArF激光器内作为充填气体使用的氦气置换为氮气的方式,将其使用量削减了99%,这是一种世界首创的技术。另外,即使将氦气置换为氮气,也不会牺牲光学特性,可以保持与使用氦气时相同的高稳定性,这也是本技术的一大特征。大型存储器生产商也已在批量生产线的90%以上的激光器上采用了本技术,而且在采用本技术以后,生